Eigenschaften und Anwendungsgebiete von Diffusionssilizium-Drucksensoren

DerDiffundierter Silizium-Drucksensornutzt das Prinzip des piezoresistiven Effekts und nutzt eine integrierte Prozesstechnologie, um entlang der charakteristischen Kristallrichtung des einkristallinen Siliziumwafers zu dotieren und zu diffundieren, um einen Dehnungswiderstand zur Bildung einer Wheatstone-Brücke herzustellen. Durch die Nutzung der elastischen mechanischen Eigenschaften von Siliziummaterialien und die Durchführung einer anisotropen Mikrobearbeitung des gleichen geschnittenen Siliziummaterials wird ein Diffusionssiliziumsensor hergestellt, der Kraftempfindlichkeit und Kraft-elektrische Umwandlungserkennung integriert. Der Druck des diffundierten Silizium-Drucksensors wirkt direkt auf die Membran des Sensors, die normalerweise aus Edelstahl oder Keramik besteht, wodurch die Membran eine Verschiebung erzeugt, die proportional zum Mediumsdruck ist, und der Widerstandswert des Sensors sich ändert, und die elektronische Schaltung erkennt diese Änderung und wandelt das diesem Druck entsprechende Ausgangssignal um. Es hat viele Eigenschaften und offensichtliche Vorteile.

① Abwechslungsreiches Erscheinungsbild und Struktur.

② Starke Anti-Interferenz.

③ Durch die Isolationsmembranstruktur aus Edelstahl 316L ist die Korrosionsbeständigkeit viel besser als die von Edelstahl 301.

④ Mikroverstärker, Stromsignalausgang.

⑤ Hohe Präzision, nach mehrfachem Edelstahlschweißen wird ein vollständiges Festkörperdesign erreicht, das lange Zeit in rauen Umgebungen eingesetzt werden kann.

⑥ Hochwertige Terminals mit guter Langzeitstabilität.

⑦ Durch die Verwendung eines importierten diffundierten Siliziumkerns ist die Messung genauer.

Das Anwendungsgebiet vonDiffundierter Silizium-Drucksensorist sehr breit gefächert und reicht von der Industrie bis hin zu professionellen Forschungsfeldern. Zu den üblichen Anwendungen gehören experimentelle Geräte wie Luft- und Raumfahrt; Tauch-, Schiffbau- und Bohrplattformen; Erdöl-, chemische und metallurgische Industrie; Thermoelektrik, Metallurgie, Maschinenbau, Leichtindustrie; Bereiche saubere Energie, Wasseraufbereitung und Gebäudeautomation; wissenschaftliche Forschungsinstitute, Labordruckkalibrierung usw. Aufgrund der Eigenschaften des Diffusionssiliziumsensors selbst kann er jedoch nicht für die Messung von Medien mit hoher und niedriger Temperatur verwendet werden.